技術(shù)編號：12614446
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種機械結(jié)構(gòu)的震動傳感有機場效應(yīng)晶體管及其制備方法【技術(shù)領(lǐng)域】本發(fā)明屬于有機場效應(yīng)晶體管傳感技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種機械結(jié)構(gòu)的震動傳感有機場效應(yīng)晶體管?！颈尘凹夹g(shù)】近些年來，隨著有機電子學的迅速發(fā)展，有機場效應(yīng)晶體管(OFETs)以低成本、可選擇材料多、功能范圍廣等優(yōu)勢，以及在電路應(yīng)用、傳感應(yīng)用等方面廣泛的前景，吸引著人們的目光。MEMS是在無機微電子技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，包括光刻、腐蝕、薄膜等工藝，還包含了精密機械加工技術(shù)等技術(shù)，然而目前主要的機械學和電子學結(jié)合的器件存在許多問題。加速度傳感...
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