技術(shù)編號：12612703
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體加工和制造領(lǐng)域，更具體地說，涉及到一種半導體工藝腔室，用于在干法工藝中，為晶圓提供工藝環(huán)境。背景技術(shù)半導體行業(yè)的發(fā)展離不開先進工藝設(shè)備的支持，各類拋光設(shè)備、刻蝕設(shè)備以及清洗設(shè)備等半導體設(shè)備不斷地更新?lián)Q代，造就了當下半導體市場的繁榮。為了支持半導體工藝，所使用到的半導體設(shè)備很多，根據(jù)工藝類型的不同可以將不同的半導體設(shè)備分為刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備、研磨設(shè)備等。盡管設(shè)備類型繁多，但大部分半導體設(shè)備都普遍設(shè)置有一個或者多個工藝腔室，以提供相應(yīng)的工藝環(huán)境。由此可見，工藝腔室是大部分半導體設(shè)備的...
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