技術編號：12611833
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于一種自動追焦系統(tǒng)，尤指一種用于氣浮載臺的自動追焦系統(tǒng)。背景技術精密檢測通常適用于須具備高精密度、低容錯率的產品，通常配合一自動化控制產線設置，并配設于供應鏈末端的位置，以對制造的成品進行表面污損、磨損、漏銅等瑕疵的檢測。其通常包含有一光學儀器(例如:線掃描攝影機、面掃描攝影機等)用以對工件的表面取像，再以計算機圖像處理技術來檢出異物或圖案異常等瑕疵。在對精密工件(例如面板)進行檢測時，為避免工件于輸送程序中因輸送帶刮傷或污損產生瑕疵，針對部分精密工件會設置氣浮載臺，通過對工件提供正壓...
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