技術編號：12611240
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及光學精密測量技術領域，具體涉及一種釹玻璃包邊面形測量裝置。背景技術釹玻璃是大型高功率固定激光裝置放大器的主要激光放大介質，釹玻離作為放大工作介質時，釹玻璃需要包邊來抑制激光信號增益時的自發(fā)輻射。為保證釹玻璃包邊能與釹玻璃穩(wěn)定膠合，因此在釹玻璃膠合包邊之間必須對釹玻璃包邊的面形精度(面形精度簡稱PV)進行測量，干涉儀是常用的精密測量設備。目前所使用的釹玻璃包邊面形測量裝置存在面形檢測精度低的缺點。發(fā)明內容本發(fā)明的目的是提供一種面形檢測精度高的釹玻璃包邊面形測量裝置。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明...
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