技術編號：12603761
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于光學檢測技術，主要涉及一種基于差動離焦測量原理、針對兩束或多束光平行性的檢測裝置與方法。背景技術結合多軸分光鏡組，激光干涉儀可以用于角度測量。在使用激光干涉儀測量角度時，分光鏡組出射光束的平行性與激光干涉儀的測量精度密切相關，出射光束平行性的優(yōu)劣很大程度上決定著激光干涉儀的測量精度。為此需要對分光鏡組出射光束的平行性進行檢測。長春理工大學的張磊等人提出一種對兩路平行光束的平行性進行檢測的裝置，利用兩個五角棱鏡和一個光楔將距離較遠的兩束光轉變?yōu)榫嚯x較近的兩束光，進而可以用小口徑自準直平行...
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