技術(shù)編號：12593375
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種反射型偏振像差補(bǔ)償裝置，可實(shí)現(xiàn)光線經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)后偏振像差的自動補(bǔ)償，屬于偏振光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)對于所有光學(xué)系統(tǒng)在非正入射的情況下，都存在偏振像差，即同一出射波前上的不同位置處的偏振態(tài)也不同，若系統(tǒng)包含多個光學(xué)介質(zhì)分界面，各個介質(zhì)分界面的偏振像差累積到像面會產(chǎn)生一定的偏振效應(yīng)，嚴(yán)重時(shí)會影響系統(tǒng)的正常工作。如高數(shù)值孔徑顯微系統(tǒng)、光刻投影系統(tǒng)或激光諧振腔系統(tǒng)等其他偏振敏感系統(tǒng)，為了保證或提高系統(tǒng)的工作性能，對系統(tǒng)自身偏振特性都具有嚴(yán)格的要求。因此，除了在系統(tǒng)設(shè)計(jì)階段嚴(yán)格考慮偏振對系統(tǒng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。