技術(shù)編號(hào)：12589919
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光學(xué)自動(dòng)化缺陷檢測(cè)領(lǐng)域，涉及利用光學(xué)自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行平板顯示面板的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，尤其涉及一種級(jí)聯(lián)分布式AOI（AutomaticOpticInspection，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)）缺陷檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法。背景技術(shù)作為FPD（FlatPanelDisplay，平板顯示器）的主流器件，TFT-LCD面板產(chǎn)值高達(dá)幾千億美元，但由于TFT-LCD是屬于高精密技術(shù)與高材料成本的產(chǎn)業(yè)，生產(chǎn)流程復(fù)雜，工藝要求極高，制備過程中容易產(chǎn)生各種各樣的顯示缺陷。單純的人工檢測(cè)的成本極高，且速度和穩(wěn)定性都隨著工作的時(shí)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。