技術(shù)編號(hào):12589007
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域的微型陀螺儀,具體地,涉及一種上分立下環(huán)形的雙電極分布式微陀螺儀及其制備方法。背景技術(shù)陀螺儀是一種能夠檢測(cè)載體角度或角速度的慣性器件,在姿態(tài)控制和導(dǎo)航定位等領(lǐng)域有著非常重要的作用。隨著國(guó)防科技和航空、航天工業(yè)的發(fā)展,慣性導(dǎo)航系統(tǒng)對(duì)于陀螺儀的要求也向低成本、小體積、高精度、多軸檢測(cè)、高可靠性、能適應(yīng)各種惡劣環(huán)境的方向發(fā)展。因此,MEMS微陀螺的重要性不言而喻。特別地,微型圓盤(pán)諧振陀螺儀作為MEMS微陀螺的一個(gè)重要研究方向,已經(jīng)成為該領(lǐng)域的一個(gè)研究熱點(diǎn)。對(duì)于微型陀螺儀而言,采...
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