技術(shù)編號(hào)：12578784
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于濺射靶材領(lǐng)域，具體涉及濺射靶材的解綁定及背板回收。背景技術(shù)濺射靶在集成電路、平面顯示以及太陽能薄膜電池等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)中，有著極其廣泛的應(yīng)用。隨著濺射基片的尺寸不斷增大和新技術(shù)新工藝的應(yīng)用，濺射靶在純度、微觀組織以及靶材與背板連接的要求也越來越高。在濺射過程中，靶材組件作為陰極，首先應(yīng)具有優(yōu)良的導(dǎo)電性，同時(shí)為了排放高能態(tài)離子高速轟擊靶材表面產(chǎn)生的熱量，靶材組件也要具有優(yōu)良的導(dǎo)熱性。因此，靶材與背板的連接既要有一定的結(jié)合強(qiáng)度，以避免濺射靶在工作中的脫落、開裂等問題，又要有高的熱傳導(dǎo)率和電傳導(dǎo)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。