技術(shù)編號：12578717
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及靶材制造領(lǐng)域，尤其涉及一種無芯軸靶材噴涂設(shè)備。背景技術(shù)目前在制造靶材是，需要對靶材進行等離子噴涂，而現(xiàn)有等離子噴涂的旋轉(zhuǎn)靶材安裝時由于冷卻的需要，必須要有芯軸來確保冷卻水在靶材內(nèi)壁循環(huán)冷卻。此安裝過程過于繁瑣，平均安裝一支靶材需要1個小時的時間，嚴重制約了生產(chǎn)效率，無形之中提高成本。發(fā)明內(nèi)容針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的是提供一種無芯軸靶材噴涂設(shè)備，采用無芯軸安裝方式，使用旋轉(zhuǎn)接頭做為支撐，尾座有氣缸頂緊密封，水路從靶材一端進，一端出，同時可以冷卻動力箱部分，提高靶材噴涂工作...
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