技術(shù)編號：12578706
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及分別如權(quán)利要求1和12的前序部分中所述的用于涂覆工件的組件以及方法。借助于這樣的組件，工件－基體－能夠在限定氣氛中被涂覆。這種組件的一種示例作為真空等離子噴涂（VPS）系統(tǒng)被引用。在這樣的系統(tǒng)中，借助于等離子噴涂器在實際上抽空的處理腔室“真空腔室”中涂覆工件。當必要時，適于涂覆過程的氣體（比如惰性氣體或者反應(yīng)氣體）在處理腔室抽空之后排入該處理腔室內(nèi)。背景技術(shù)為了除去在由涂覆射流（coatingjet）涂覆工件期間引入處理腔室內(nèi)的氣體，已知組件中的氣體從處理腔室的一端虹吸去除。這種種類的...
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