技術(shù)編號(hào)：12571460
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種對(duì)超硬陶瓷材料進(jìn)行超細(xì)納米條紋陣列加工的方法。背景技術(shù)超硬陶瓷材料為硬度接近金剛石(莫氏硬度10級(jí))的陶瓷材料。如碳化硅、碳化硼、氮化硼和碳化鎢等陶瓷。由于超硬陶瓷材料具有化學(xué)惰性高、硬度大等特點(diǎn)，難以對(duì)其表面進(jìn)行納米精度的微結(jié)構(gòu)的加工。具有納米精度的微結(jié)構(gòu)的應(yīng)用日益廣泛，特別是在光學(xué)元件等領(lǐng)域。目前主要采用聚焦離子束、電子束和激光加工等傳統(tǒng)加工手段對(duì)超硬陶瓷材料進(jìn)行微結(jié)構(gòu)的加工，然而加工設(shè)備昂貴、加工條件較為苛刻。原子力顯微鏡(AtomicForceMicroscope，AFM)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。