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一種氣浮隔振系統(tǒng)控制閥的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12556266

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本實(shí)用新型屬于控制閥的技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種氣浮隔振系統(tǒng)控制閥。背景技術(shù)在研制高精度液晶檢測(cè)平臺(tái)時(shí),需配備氣浮隔振系統(tǒng),而氣浮隔振系統(tǒng)的關(guān)鍵是尋找一種控制閥,該控制閥夠通過(guò)自身的調(diào)節(jié)功能快速的補(bǔ)充相同量的高壓氣體給氣囊,使檢測(cè)平臺(tái)快速恢復(fù)到穩(wěn)定狀態(tài)。目前生產(chǎn)的控制閥自身調(diào)節(jié)速度較慢。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于針對(duì)上述存在的問(wèn)題,提供一種氣浮隔振系統(tǒng)控制閥,反應(yīng)快,調(diào)節(jié)時(shí)間短,提高調(diào)節(jié)精度。本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種氣浮隔振系統(tǒng)控制閥,其特征在于,包括閥體、閥...
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