技術(shù)編號(hào)：12513915
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及陶瓷結(jié)構(gòu)體、基板保持裝置用部件及陶瓷結(jié)構(gòu)體的制法。背景技術(shù)在對(duì)硅基板、玻璃基板、各種單晶基板等板狀的材料進(jìn)行精密加工，制造半導(dǎo)體等元件或設(shè)備時(shí)，大多使用基板保持裝置。該基板保持裝置存在具有吸附基板的功能的靜電卡盤(pán)或真空卡盤(pán)、具有加熱功能的加熱器、或者這些部件組合而成的裝置等多個(gè)種類(lèi)。其中，對(duì)于靜電卡盤(pán)或加熱器，在具有基板保持面的基體的內(nèi)部以圖案狀埋設(shè)有導(dǎo)電性物質(zhì)作為電極，具有產(chǎn)生靜電力或用于加熱的焦耳熱等的功能。例如專(zhuān)利文獻(xiàn)1中公開(kāi)一種靜電卡盤(pán)，其具備各種陶瓷基體和埋設(shè)在其內(nèi)部的電極。...
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