技術(shù)編號：12513886
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。驗證計量目標及其設(shè)計相關(guān)申請案的交叉參考本申請案主張2014年10月3日申請的第62/059,640號美國臨時專利申請案的權(quán)益，所述美國臨時專利申請案以全文引用的方式并入本文中。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及半導體計量的領(lǐng)域，且更特定來說涉及計量目標設(shè)計。背景技術(shù)在半導體計量的領(lǐng)域中，計量工具可包括：照明系統(tǒng)，其照明目標；收集系統(tǒng)，其捕獲通過所述照明系統(tǒng)與目標、裝置或特征的相互作用(或缺少其)提供的相關(guān)信息；及處理系統(tǒng)，其使用一或多種算法分析收集到的信息。計量工具可用于測量與各種半導體制造工藝相關(guān)聯(lián)的結(jié)構(gòu)及...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。