技術(shù)編號(hào):12513808
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種利用疏水化液使進(jìn)行液體處理后的基板的表面疏水化后使該基板的表面干燥的基板液體處理方法、基板液體處理裝置以及存儲(chǔ)有基板液體處理程序的計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)。背景技術(shù)以往,在制造半導(dǎo)體器件、平板顯示器等的情況下,使用基板液體處理裝置利用各種處理液對(duì)半導(dǎo)體晶圓、液晶基板等基板實(shí)施液體處理,之后實(shí)施通過(guò)使基板高速旋轉(zhuǎn)來(lái)去除殘留在基板上的處理液的干燥處理。在該基板液體處理裝置中,隨著形成于基板的表面的電路圖案、蝕刻掩模圖案等圖案的細(xì)微化、高長(zhǎng)寬比化而有可能產(chǎn)生以下現(xiàn)象:在進(jìn)行干燥處理時(shí),形成于基...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。