技術(shù)編號：12512285
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。測量方法、測量設備、光刻設備和器件制造方法相關(guān)申請的交叉引用本申請主張2014年8月25日提交的美國臨時專利申請第62/041,518號的權(quán)益，并且通過援引而全文合并到本發(fā)明中。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及微結(jié)構(gòu)的測量。本發(fā)明可以實施于一種用以測量襯底上的標記的改進的設備和方法中。背景技術(shù)光刻設備是將所需圖案施加至襯底上(通常施加至襯底的目標部分上)的機器。光刻設備可例如用于集成電路(IC)的制造中。在該情況下，圖案形成裝置(其替代地被稱作掩?；蜓谀０?可用以產(chǎn)生待形成于IC的單個層上的電路圖案。此圖案可...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。