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顯微鏡的制作方法與工藝技術資料下載

技術編號:12512088

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本發(fā)明涉及一種帶有自動聚焦系統(tǒng)的顯微鏡,該自動聚焦系統(tǒng)帶有用于攝取第一圖像的設置在第一輸出光路中的第一圖像傳感器和用于攝取第二圖像的設置在第二輸出光路中的第二圖像傳感器。背景技術就已知的主動的自動聚焦系統(tǒng)而言,把輔助結構或輔助光束投影到待檢查的物體的表面上,并評價反射光束。輔助結構在此通常與觀察件同軸地映射。但為了使得該輔助結構適合于觀察件的大的放大范圍,必須借助附加的光學機構使得投影適配于相應的物鏡場。相反,輔助光束通常近軸地例如借助于三角測量予以投影。為此,大多采用激光光源或發(fā)光二極管(LE...
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