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疊層密封膜形成方法和形成裝置與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12485684

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本發(fā)明涉及形成有機(jī)EL元件中使用的疊層密封膜的疊層密封膜形成方法和形成裝置。背景技術(shù)使用了有機(jī)EL元件的有機(jī)EL顯示裝置,由于低耗電且為自發(fā)光型,能夠獲得來(lái)自有機(jī)發(fā)光材料的多彩色調(diào)的發(fā)光,因此作為下一代的顯示裝置備受關(guān)注。有機(jī)EL元件,在呈矩陣狀設(shè)置于襯底上的多個(gè)元件形成區(qū)域,以疊層有作為發(fā)光層的有機(jī)EL層和電極層等的狀態(tài)形成。作為使用這樣的有機(jī)EL元件的有機(jī)EL顯示裝置,已知有將作為有機(jī)EL層使用的進(jìn)行白色發(fā)光的部件和具有與紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)對(duì)應(yīng)的濾色部的濾色片組合而成的部件。形成有...
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