技術(shù)編號：12477885
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種在N-極性GaN模板上生長極性交替的GaN結(jié)構(gòu)的方法技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及到半導(dǎo)體工藝和器件領(lǐng)域，具體指一種在藍(lán)寶石襯底上生長具有不同極性GaN結(jié)構(gòu)的方法。背景技術(shù)纖鋅礦結(jié)構(gòu)的GaN具有六方晶體結(jié)構(gòu)，在C-軸方向的正負(fù)電荷不是中心對稱的，具有本征極化效應(yīng)，在N與Ga鍵合中，共價(jià)鍵電子偏向N，所以自發(fā)極化的方向是N到Ga，在+C(0001)方向是Ga到N，表現(xiàn)為Ga-極性，所以在-C(000-1)方向表現(xiàn)出N-極性，他們具有明顯不同的特性，如化學(xué)活性、摻雜效率、極化方向、功函數(shù)、表面形態(tài)和內(nèi)電場等...
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