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一種提升閃存存儲器數(shù)據(jù)保持力的方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12476147

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種提升閃存存儲器數(shù)據(jù)保持力的方法。背景技術(shù)NOR型閃存存儲器單元是浮柵(floatinggate,簡稱FG)結(jié)構(gòu)的MOS型晶體管,工作原理是通過對FG注入或者釋放電荷改變存儲單元的閾值電壓來達到存儲或釋放數(shù)據(jù)的目的。擦除(floatinggate)的過程是在控制柵(controlgate)與阱(Well)上施加反向電壓,通過隧道效應(yīng)將電荷拉出FG,編程(Program)“0”則是通過控制柵與位線(BiteLine,BL)上施加電壓通過溝道(CHE)效應(yīng)將電...
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