技術(shù)編號(hào)：12473854
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于超結(jié)功率場效應(yīng)管制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種低成本超結(jié)功率場效應(yīng)管的制備方法。背景技術(shù)前高壓超結(jié)產(chǎn)品主要有兩種工藝技術(shù)路徑：1.以Infineon和ST為代表的多次外延和注入技術(shù)的技術(shù)。2.以Toshiba和華虹宏力為代表的溝槽刻蝕和回填技術(shù)。兩種技術(shù)基本上都要長1-2um的熱場氧，然后光刻有源區(qū)，進(jìn)行后續(xù)的器件制備工藝；現(xiàn)有的超結(jié)技術(shù)制造工藝，都有厚場氧工藝，也都會(huì)用到有源區(qū)光刻版，制造工藝相對(duì)昂貴。發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種低成本超結(jié)功率場效應(yīng)管的制備方法。為達(dá)到...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。