技術編號：12473851
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及MOS晶體管的制作工藝，特別涉及一種NMOS晶體管及其制作方法、CMOS晶體管。背景技術隨著光電與半導體技術的演進，也帶動了平板顯示器(FlatPanelDisplay)的蓬勃發(fā)展，而在諸多平板顯示器中，液晶顯示器(LiquidCrystalDisplay，簡稱LCD)因具有高空間利用效率、低消耗功率、無輻射以及低電磁干擾等諸多優(yōu)越特性，已成為市場的主流。目前，作為LCD的開關元件而廣泛采用的是非晶硅薄膜三極管(a-SiTFT)，但a-SiTFTLCD在滿足薄型、輕量、高精細度、高亮度...
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