技術(shù)編號:12471959
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于圖像處理技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)共焦掃描顯微鏡測量技術(shù)是一種用于微米及亞微米尺度測量的光學(xué)顯微技術(shù)。因其具有無需樣品制備、測量速度快、成本低、不損傷測量表面以及可直接測量高度大于半波長的臺階輪廓等優(yōu)點(diǎn),而被廣泛用于材料學(xué)、微電子學(xué)、光學(xué)、生物工程學(xué)及醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的二/三維微尺度結(jié)構(gòu)測量。但是共焦掃描顯微鏡同樣面臨著視場較小的問題,采用圖像拼接技術(shù)在不增加儀器成本的情況下即可得到高分辨大視場的數(shù)據(jù),使共焦掃描顯微鏡得應(yīng)用更加靈活、實(shí)用。圖像拼接面臨的第一個問題就是圖像配準(zhǔn),由于共焦掃描顯微鏡本身分...
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