技術(shù)編號:12465041
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光學(xué)編碼器。背景技術(shù)已知有各種編碼器作為用于檢測兩個(gè)相對移動(dòng)的組件之間的相對移位的裝置。例如,作為線性編碼器的示例,提出了使用三光柵系統(tǒng)的光學(xué)編碼器(日本特開昭63-33604)。以下說明使用三光柵系統(tǒng)的光學(xué)編碼器。圖14是示出使用三光柵系統(tǒng)的光學(xué)編碼器800的結(jié)構(gòu)示例的立體圖。光學(xué)編碼器800包括標(biāo)尺840和檢測頭870。檢測頭870在測量方向(X軸方向)上相對于標(biāo)尺840移動(dòng)。檢測頭870檢測檢測頭870相對于標(biāo)尺840的相對移動(dòng)量。標(biāo)尺840配備有標(biāo)尺光柵841。標(biāo)尺光柵84...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。