技術(shù)編號：12458188
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光束控制技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種二維電調(diào)鏡裝置。背景技術(shù)在光學(xué)系統(tǒng)中，為了精確控制光束的傳播方向，必須對其中的光學(xué)元件進行精確地位置裝調(diào)。但是受環(huán)境溫度變化、結(jié)構(gòu)件應(yīng)力釋放等因素的影響，不同的環(huán)境條件下，光學(xué)元件的理想位置并不唯一。因此，對于一些精度需求較高的光學(xué)系統(tǒng)，要求光學(xué)系統(tǒng)中必須具有角度狀態(tài)可以調(diào)節(jié)的反射鏡，以補償光路因外界環(huán)境變化引起的偏差。兩維快速反射鏡具有響應(yīng)速度快、指向精度和角度分辨力高等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于各種光路調(diào)節(jié)、校正、補償系統(tǒng)中。公開號為“CN102313...
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