技術編號：12456185
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體器件測試研究領域，特別涉及一種針對PN結進行自動測量的電容電壓特性測試儀及其測試方法。背景技術PN結是半導體器件的基礎單元，由于PN結本身是一個勢壘區(qū)，存在勢壘電容，加正向偏壓時，PN結勢壘區(qū)變窄，結電容變大；加反向偏壓時，PN結勢壘區(qū)變寬，結電容變小。結電容C＝Q/V，其中Q為結區(qū)電荷，V為電壓。電荷量Q是由電離雜質(施主或受主)形成的，因此Q值與雜質濃度相關，通過測量二極管電容和電壓之間的關系可以得到器件內(nèi)部雜質濃度隨深度的變化情況，這是研究器件特性的重要手段。目前普遍使用的...
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