技術(shù)編號：12455047
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提出了一種Si基微機械懸臂梁耦合直接加熱式毫米波信號檢測器，屬于微電子機械系統(tǒng)(MEMS)的技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)長為1～10毫米的電磁波稱為毫米波，處于較高的微波頻段，在通信、雷達、制導、遙感技術(shù)、射電天文學、臨床醫(yī)學和波譜學方面都有著重要研究價值。功率、頻率和相位作為微波信號的三大參數(shù)，其檢測是電磁測量的重要組成部分，在微波技術(shù)的應用中發(fā)揮著十分關(guān)鍵的作用。結(jié)構(gòu)小型化和多功能集成是未來信號檢測系統(tǒng)的發(fā)展趨勢，隨著MEMS技術(shù)的不斷成熟，很多信號檢測器件成功實現(xiàn)了小型化，比如微波功率傳感器、...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。