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一種以梁型壓電促動器為驅(qū)動的變形鏡的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12447112

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本發(fā)明屬于壓電促動器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種大量程高諧振頻率壓電促動器。背景技術(shù)壓電材料具有優(yōu)秀的力電耦合性能。壓電材料研制的促動器具有反應(yīng)速度快、精度高等特點,在工業(yè)界具有廣泛的應(yīng)用。然而,市場上壓電促動器有普遍存在量程小局限性。由于量程小,壓電促動器主動和自適應(yīng)光學(xué)望遠(yuǎn)鏡/射電望遠(yuǎn)鏡應(yīng)用上受到很大的限制。主動和自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)需要較高頻率帶寬,而這又很多程度上受制于系統(tǒng)所采用促動器諧振頻率。因此,有必要提供一種以梁型壓電促動器為驅(qū)動的變形鏡。實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種以梁型壓電促動...
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