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壓縮成形裝置的樹脂材料供應(yīng)裝置與方法及壓縮成形裝置與方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12441537

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本發(fā)明是關(guān)于一種對(duì)半導(dǎo)體芯片等電子零件進(jìn)行樹脂密封的裝置,尤其是關(guān)于一種將顆粒狀、粉末狀的樹脂材料(以下,將它們簡(jiǎn)單統(tǒng)稱為“樹脂材料”)供應(yīng)至模具的腔室以進(jìn)行壓縮成形的樹脂材料供應(yīng)裝置及方法、以及具有該樹脂材料供應(yīng)裝置的壓縮成形裝置及方法。背景技術(shù)隨著電子零件的小型化及因應(yīng)而生的半導(dǎo)體芯片等的接合線的小徑化,業(yè)界逐漸將壓縮成形用于電子零件的密封成形。于壓縮成形中,在將樹脂材料供應(yīng)至以脫模膜被覆的下模的腔室,進(jìn)行加熱熔融之后,于與裝配有已安裝電子零件的基板的上模之間進(jìn)行閉模而壓縮該樹脂,由此進(jìn)行成...
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