技術(shù)編號(hào):12436798
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅料清洗領(lǐng)域,尤其涉及一種硅料無(wú)酸清洗方法。背景技術(shù)在制備單晶硅的過(guò)程中對(duì)硅原料的要求較高。油污、雜質(zhì)等均會(huì)影響單晶硅的產(chǎn)出率,因此要對(duì)硅原料進(jìn)行清洗?,F(xiàn)有技術(shù)的硅原料包括原生多晶、邊皮料、頭尾料、碎硅片等等,一般的硅料清洗采用直接酸洗法,具體為將硅原料采用40-49%濃度的氫氟酸加68-72%的硝酸按1:8至1:15之間的比例腐蝕,再用電導(dǎo)率大于15MΩ·cm超純水沖洗、浸泡,然后用超聲波超聲震動(dòng)處理,再用超純水浸泡處理,最后烘干。上述酸洗法清洗硅料有以下不足:1.酸腐蝕過(guò)的多晶硅原...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。