技術編號：12415626
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于真空蒸鍍技術領域，具體地講，涉及一種蒸鍍坩堝及其蒸鍍方法。背景技術近年來，有機發(fā)光二極管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)成為國內(nèi)外的新興平面顯示器產(chǎn)品，這是因為OLED顯示器具有自發(fā)光、廣視角(達175°以上)、短反應時間(1μs)、高發(fā)光效率、廣色域、低工作電壓(3～10V)、面板薄(厚度可小于1mm)、可制作大尺寸與可撓曲的面板及制程簡單等特性，而且它還具有低成本的潛力。目前實現(xiàn)量產(chǎn)的OLED均是采用真空蒸鍍的方法制備OLED材料薄膜。在真空蒸鍍腔中...
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