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一種氧化物透明電極薄膜的制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12415602

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本發(fā)明涉及薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種氧化物透明電極薄膜的制備方法。背景技術(shù)隨著信息技術(shù)和材料科學(xué)的迅猛發(fā)展,各種新型透明導(dǎo)電薄膜材料制造的光電器件在軍事、航空、航天等領(lǐng)域己開(kāi)展應(yīng)用,并日趨廣泛。由于透明導(dǎo)電薄膜對(duì)光波的選擇性(對(duì)可見(jiàn)光的投射和對(duì)紅外光的反射)用作熱反射鏡,用于寒冷地區(qū)的建筑玻璃窗起熱屏蔽作用,節(jié)省能源消耗;還可用作透明表面發(fā)熱器,在汽車(chē)、飛機(jī)等交通工具的玻璃窗上形成防霧除霜玻璃,同理,可用在防霧攝影機(jī)鏡頭、特殊用途眼鏡、儀器視窗上。因此,制備高質(zhì)量的透明導(dǎo)電薄膜就成為其應(yīng)用的...
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