技術編號：12393948
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本公開內(nèi)容涉及使用外延生長來進行的成膜方法以及外延生長裝置，并且更確切地說，涉及實現(xiàn)所述方法的用于此類外延生長裝置的腔室部件。背景技術目前，作為用于使用外延生長使外延膜在基板上生長的外延生長裝置，一種包括工藝腔室和設置在工藝腔室中的可旋轉(zhuǎn)基板支撐件并配置成圍繞旋轉(zhuǎn)軸線來旋轉(zhuǎn)基板的裝置是已知的，在這種裝置中，反應氣體在平行于基板的方向上被引入至基板，以便將膜形成在基板支撐件上的基板上。在這種外延生長裝置中，目前存在對增加生長速率的需要。然而，在反應氣體中包括大量源氣(sourcegas)以進一步地...
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