技術(shù)編號：12393555
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及晶片加工領(lǐng)域，具體涉及一種石英晶片腐蝕裝置。背景技術(shù)石英晶片腐蝕裝置是用于對晶片進行腐蝕的常用設(shè)備，使用時，將晶片盛放在晶片籃中，然后放在腐蝕液池中，搖動晶片籃對晶片進行腐蝕，腐蝕完后再把晶片籃放在清洗池中搖動進行清洗，這種裝置將晶片腐蝕完之后，還需轉(zhuǎn)移晶片到清洗設(shè)備中再進行清洗，非常費時費力；并且采用這種浸泡的方式進行腐蝕，通常會導(dǎo)致腐蝕過度；為了克服上述問題，現(xiàn)有技術(shù)中也存在采用噴灑腐蝕的方式進行晶片腐蝕的裝置，但是噴灑腐蝕通常又會導(dǎo)致腐蝕不均勻、有些位置不會被腐蝕的情況發(fā)生。為了...
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