技術(shù)編號：12369564
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種射頻微機電開關(guān)(RFMEMSswitch)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于表面半導(dǎo)體工藝的射頻微機電開關(guān)及其制備方法。背景技術(shù)RFMEMS開關(guān)在插入損耗、隔離度、頻率和線性等方面具有優(yōu)異的性能，在衛(wèi)星通信、導(dǎo)航和雷達等系統(tǒng)中得到了廣泛應(yīng)用。與傳統(tǒng)的PIN及FET微波開關(guān)器件相比，MEMS開關(guān)不但具有高隔離度、低損耗、低插損、高線性度等優(yōu)異的微波性能，同時具有批量制作、易于與先進的微波、射頻電路相集成的特點，是實現(xiàn)小型化，低成本，高性能的微波收發(fā)前端系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)。RFMEMS開關(guān)按機械結(jié)...
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