技術(shù)編號(hào)：12365888
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以及信息技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種設(shè)備定期保養(yǎng)效果分析方法。背景技術(shù)目前來(lái)說(shuō)，一般需要對(duì)工藝機(jī)臺(tái)進(jìn)行定期保養(yǎng)。對(duì)于定期保養(yǎng)效果的分析，現(xiàn)有機(jī)臺(tái)定期保養(yǎng)分析只根據(jù)單純的設(shè)備指標(biāo)進(jìn)行設(shè)備定期保養(yǎng)效果好壞的分析，這樣的分析方式只能著眼于單次機(jī)臺(tái)的保養(yǎng)是否達(dá)標(biāo)分析，對(duì)于產(chǎn)品制程的好壞是沒(méi)有參考意義的。同時(shí)，這種單次的分析模式無(wú)法滿足工程師對(duì)于機(jī)臺(tái)長(zhǎng)期穩(wěn)定性分析的管控。因此，期望的是，能夠提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)機(jī)臺(tái)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性進(jìn)行有效分析的設(shè)備定期保養(yǎng)效果分析方法。發(fā)明內(nèi)容本...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
請(qǐng)注意，此類技術(shù)沒(méi)有源代碼，用于學(xué)習(xí)研究技術(shù)思路。