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利用微束激光對材料進行精細加工和處理的裝置和方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12363694

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本發(fā)明涉及材料激光微區(qū)加工和處理技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種利用微束激光對熔點較低的晶體/非晶體或薄膜材料進行精細加工和激光微區(qū)照射處理的裝置和方法,可以按圖紙編程加工各種材料,也可以對某些材料的特定區(qū)域,選取特定的激光參數(shù)進行照射處理,可針對各類材料利用光斑大小、功率可調(diào)控的激光進行微區(qū)切割和處理。背景技術(shù)激光加工和激光處理在當(dāng)代人們生活、工業(yè)和工程上的應(yīng)用日益廣泛,激光加工是激光系統(tǒng)最常用的應(yīng)用。激光是20世紀(jì)以來,繼原子能、計算機、半導(dǎo)體之后,人類的又一重大發(fā)明,被稱為“最快的刀”、“最準(zhǔn)的尺”...
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