技術(shù)編號：12360645
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種抗模具粘連的三維元件制作方法及三維元件倒模。背景技術(shù)微結(jié)構(gòu)在越來越多的領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，例如：傳感器、光學(xué)系統(tǒng)和細(xì)胞工程等，人們對新的微結(jié)構(gòu)的制作方法的需求也日漸高漲。九十年代末一種新的微圖形復(fù)制技術(shù)脫穎而出，通稱為軟光刻技術(shù)(softlithography)。軟光刻技術(shù)是相對于傳統(tǒng)的光刻技術(shù)而言的，相比于傳統(tǒng)的光刻技術(shù)，它可以突破100nm尺寸制作微細(xì)機(jī)構(gòu)，可以制造復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)并且能在曲面上應(yīng)用，可以在不同化學(xué)性質(zhì)表面上使用等優(yōu)點。軟光刻技術(shù)其實就是一種微圖形的復(fù)制技術(shù)，顯...
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