技術(shù)編號：12358896
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及MEMS加速度傳感器芯片技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基于非晶態(tài)碳膜的加速度傳感器芯片。背景技術(shù)隨著微機械電子系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的發(fā)展以及工業(yè)、軍事等實際應(yīng)用領(lǐng)域的需求的變革，具有不同性能與敏感原理加速度傳感器逐漸進入人們的視野。根據(jù)感知加速度的敏感機理不同，加速度傳感器可以分為電容式、壓阻式、壓電式、諧振式和熱傳導(dǎo)式等。由于采用了MEMS技術(shù)與IC集成工藝，具有體積小、重量輕特點的加速度傳感器可以安置在狹小的空間中，從而出現(xiàn)在一些常規(guī)傳感器無法使用的應(yīng)用場合，比如機床主軸振動監(jiān)測、智能筆、...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。