技術(shù)編號：12358894
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種加速度計(jì)及其制作方法。背景技術(shù)加速度計(jì)是一種用來測量物體運(yùn)動狀態(tài)的器件。傳統(tǒng)的加速度計(jì)，以一個質(zhì)量塊作為敏感部件，當(dāng)載體有某一方向的加速度時，質(zhì)量塊向一個方向偏移，然后通過電極測量這個偏移的位移量(或產(chǎn)生偏移的慣性力)，進(jìn)而換算得到加速度的值。按傳感元件分類，加速度計(jì)包括壓電式、電容式和隧道電流式等。其中，壓阻式加速度計(jì)在質(zhì)量塊的支撐臂上嵌壓敏電阻，通過該壓敏電阻來感應(yīng)質(zhì)量塊偏移對支撐臂產(chǎn)生的應(yīng)力，進(jìn)而獲得加速度的信息；電容式加速度計(jì)設(shè)置有與質(zhì)量塊對...
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