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一種有效降低噪聲的準(zhǔn)分子激光器貫流式風(fēng)機(jī)葉輪的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12352325

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本發(fā)明涉及一種準(zhǔn)分子激光器的風(fēng)機(jī)葉輪,尤其是涉及一種有效降低噪聲的準(zhǔn)分子激光器貫流式風(fēng)機(jī)葉輪。背景技術(shù)貫流式風(fēng)機(jī)是準(zhǔn)分子激光器的重要組成部分,是準(zhǔn)分子激光器的放電腔內(nèi)氣體循環(huán)的動(dòng)力源。風(fēng)機(jī)葉輪的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)放電腔內(nèi)氣體的高速循環(huán)運(yùn)轉(zhuǎn),及時(shí)帶走放電后的廢氣,為放電區(qū)提供新鮮工作氣體,為下次放電提供保障。目前在專利文獻(xiàn)中,例如,美國專利US006061376A、US6765946B、US8814522B2及中國專利CN102777416B等也都公開了常用的準(zhǔn)分子激光器用貫流式風(fēng)機(jī)葉輪,如圖1所示為典型貫...
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