技術編號：12287281
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種微光機電設備，更具體地涉及如在獨立權利要求的前序中所限定的微光機電設備以及微光機電設備的制造方法。背景技術已經基于MEMS技術開發(fā)了用于反射光束的反射鏡。在掃描反射鏡中，反射方向可以隨時間而改變。掃描反射鏡可以在一維或二維的方向范圍內指引光束，并且其還可以被用于以良好的角度精度和解析度來從一定范圍的方向收集光線。在一定角度范圍內的掃描操作是通過將反射鏡傾斜至某一角度并根據(jù)時間改變這一角度來獲得的。這經常以周期性方式或振蕩的方式來實現(xiàn)。為了獲得高掃描角度幅度，反射鏡可以以諧振模式操作...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。