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用于光束掃描顯微鏡檢查的設備和方法與流程技術資料下載

技術編號:12286805

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本發(fā)明一般涉及用于光束掃描或光束角位移顯微鏡檢查(microscopy)的設備和方法的領域。更具體地,它涉及一種用于掃描激光束拉曼顯微光譜測量(micro-spectrometry)的設備和方法。本發(fā)明還適用于其他形式的光束掃描光學顯微鏡檢查,例如光致發(fā)光、熒光或陰極發(fā)光顯微鏡檢查。在這些用于掃描光學顯微鏡檢查的設備中,光學掃描光束可以是激光束或由發(fā)光二極管(LED)發(fā)射的光束,例如在TCSPC(時間相關單光子計數(shù))型的分光熒光計中。背景技術尤其在專利文獻EP1983332A中已知一種光譜成像的...
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