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技術(shù)編號(hào)：12282818

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本發(fā)明涉及一種用于飛秒和皮秒激光束的掩模投射的設(shè)備。背景技術(shù)用于準(zhǔn)分子激光束的掩模投射的方法和設(shè)備是已知的并且用于固態(tài)表面的微結(jié)構(gòu)化，并且特別是也用于通過(guò)借助于準(zhǔn)分子激光器進(jìn)行結(jié)構(gòu)化、逐層材料燒蝕來(lái)生成三維微結(jié)構(gòu)(尤其參見(jiàn)Excimerlasertechnology，Ed.Dr.DirkBasting，LambdaPhysikAG2001，ISBN3-00-006395-1，以及Weissmantel,S.；Reisse,G.；Haehnel,F.；Bertram,R.；Boettcher,R....
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