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一種基于Si/TiOx異質(zhì)結(jié)的雙面晶體硅太陽(yáng)電池的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12275214

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本發(fā)明屬于太陽(yáng)電池領(lǐng)域,也屬于半導(dǎo)體器件領(lǐng)域,涉及硅太陽(yáng)電池的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。背景技術(shù)晶體硅太陽(yáng)電池是一類重要的太陽(yáng)電池,其產(chǎn)量占據(jù)了當(dāng)前太陽(yáng)電池總產(chǎn)量的大部分份額。隨著工藝的進(jìn)步,目前基于擴(kuò)散工藝制備的同質(zhì)結(jié)晶體硅太陽(yáng)電池其光電轉(zhuǎn)換效率逐漸逼近極限。而異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)電池可以充分利用兩種不同半導(dǎo)體之間功函數(shù)和能帶位置的差異,可以在不增加太陽(yáng)電池內(nèi)部載流子復(fù)合的前提下增強(qiáng)內(nèi)建電場(chǎng)強(qiáng)度,從而提高太陽(yáng)電池的光電轉(zhuǎn)換效率。因此,基于異質(zhì)結(jié)的晶體硅太陽(yáng)電池有望在效率上超越同質(zhì)結(jié)晶體硅電池而成為未來(lái)太陽(yáng)電池的主流。目...
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