技術(shù)編號：12270303
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種電子式HF升降溫系統(tǒng)[技術(shù)領(lǐng)域]本發(fā)明涉及半導體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種電子式HF升降溫系統(tǒng)。[背景技術(shù)]半導體制造過程中，RCA清洗/蝕刻工序中必須使用恒溫恒濃度的化學品(如HF，AL-E等)，用來控制清洗/蝕刻的效果保持穩(wěn)定一致。隨著半導體制造工藝的進步，對允許的溫度范圍要求越來越嚴格，基本上從原來的23±3℃提升到23±1℃。目前大多數(shù)的清洗用高純度化學品都在化學槽中使用石英管/不銹鋼加熱器加熱、使用壓縮冰機/工廠冷卻水進行冷卻。通常來說，加熱過程和冷卻過程不能使用共通的管路和熱交...
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