技術(shù)編號(hào)：12265109
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種激光回饋干涉儀，特別是基于全光纖的激光回饋干涉儀。背景技術(shù)激光干涉儀的應(yīng)用非常廣泛，在現(xiàn)代精密測(cè)量領(lǐng)域占據(jù)著非常重要的地位，由于其高精度，可溯源，應(yīng)用廣泛等特點(diǎn)，可稱之為“計(jì)量之王”。在機(jī)械制造業(yè)，IC制造業(yè)，實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)合都可以見到激光干涉儀的身影。傳統(tǒng)的技術(shù)成熟、應(yīng)用廣泛的激光干涉儀絕大多數(shù)都采用邁克爾遜干涉儀的基本結(jié)構(gòu)，這一類結(jié)構(gòu)相似的干涉儀我們統(tǒng)稱為傳統(tǒng)激光干涉儀。傳統(tǒng)干涉儀的優(yōu)點(diǎn)是性能穩(wěn)定、技術(shù)成熟、應(yīng)用廣泛，但是也存在著難以彌補(bǔ)的缺點(diǎn)，即對(duì)待測(cè)目標(biāo)表面要求很高，大多數(shù)情況...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。