技術(shù)編號(hào):12258716
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)鄰域,更具體地,涉及一種MEMS結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)MEMS器件是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的采用微加工工藝制作的電子機(jī)械器件,已經(jīng)廣泛地用作傳感器和執(zhí)行器。例如,MEMS器件可以是硅電容麥克風(fēng)。硅電容麥克風(fēng)通常包括襯底、背極板和振膜層,其中振膜層是硅電容麥克風(fēng)的核心部件,該振膜層靈敏地響應(yīng)聲壓信號(hào)并將之轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。另外隨著硅電容麥克風(fēng)向更便捷的方向發(fā)展,硅電容麥克風(fēng)還包括一種無(wú)背極板的硅電容麥克風(fēng),此...
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