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非制冷焦平面探測器封裝用電極薄膜工藝技術(shù)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12251388

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本發(fā)明涉及非制冷焦平面探測器,尤其是一種可靠性高,壽命長的非制冷焦平面探測器封裝用電極薄膜工藝技術(shù)。背景技術(shù)由于非制冷焦平面探測器具有不需制冷、成本低、功耗小、重量輕、小型化、啟動快、使用方便以及靈活等優(yōu)點,同時已經(jīng)由小規(guī)模發(fā)展到中、大規(guī)模的320×240和640×480陣列,在未來的幾年內(nèi)有望獲得大規(guī)模的1024×1024的非制冷焦平面陣列,像元尺寸也由50um減小到17um,使得焦平面靈敏度進(jìn)一步提高。這種非制冷焦平面探測器在軍用和民用領(lǐng)域應(yīng)用越來越廣泛,部分型號產(chǎn)品已經(jīng)裝備部隊,尤其在輕武...
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